气冷-罗茨螺杆泵真空机组-江阴天田真空设备制造有限公司

JZJLG型螺杆真空泵产品简介

JZJLG型真空机组是以ZJ型或ZJP型罗茨真空泵为主泵或中间泵，以VPS螺杆真空泵为前级泵的成套高真空获得设备，其结构紧凑，操作方便?；槌酥鞅眉扒凹侗没蛑屑浔猛?，还包括连接管道、不锈钢波纹管、电接点压力表和电气控制箱等附件。一般罗茨真空泵和螺杆真空泵安装在同一机架上（大型机组除外），具体见“机组外形尺寸”部分。

JZJLG型螺杆真空泵产品说明

目前机组上采用的罗茨泵为普通ZJ型或ZJP型罗茨泵，由于ZJ型或ZJP型罗茨泵必须在真空系统被前级泵抽到罗茨泵的允许起动压力后才可起动罗茨泵工作。因此，一般在机组进气口处须安装电接点压力表，通过电接点压力表可控制罗茨泵的启动和?；?。即当前级VPS螺杆泵起动后开始对系统进行预抽,当系统压力（即罗茨泵进气口处压力）达到允许罗茨泵启动的设定压力（即电接点压力表绿针所指压力值）时，罗茨泵就可起动工作。如果在机组各泵已处于正常工作情况下，由于发生特殊情况当罗茨泵进气口压力高于电接点压力表上绿针所指值时，罗茨泵立即会自动?；庋涂墒迪致薮谋玫淖远乇；?，从而可以避免机组出现过载和过热而导致机组发生故障。

干式螺杆真空泵由于其*的性能，在欧美和日本已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。

JZJLG型机组配套形式及主要技术性能指标

注:1，机组的极限压力是指用麦氏真空计测得的空气分压力值,用热偶真空计测得的全压力值应比极限压力小半个到一个数量级。

2，机组的zui大抽气速率是指在机组主泵的入口压力在约1～100 pa工作条件下测得的实际抽速。