如果想获得高真空的话必须选用
气冷罗茨往复泵真空机组，而真空机组需要的罗茨真空泵不能直排大气，如直排大气会形成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太大，从而使罗茨真空泵过载，如单纯加大罗茨真空泵电机功率又会形成罗茨真空泵过热致使罗茨真空泵转子之间的微小间隙很快因热收缩而卡死。为保证罗茨真空泵能到达较高真空必需保证罗茨真空泵转子之间的间隙。所以罗茨真空泵运用时必需设有前级泵，用前级泵将系统内压力抽至一定范围内时再启动罗茨真空泵，如此能够防止罗茨真空泵过载。前级泵能够选用水(液)环式真空泵、旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵等可直排大气的真空泵。
气冷罗茨往复泵真空机组在普通状况下，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，这主要是由于它可以抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵扫除可凝性蒸汽才能不够，或运用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时分更为明显。
主泵怎么选择好
一、根据真空室所需要建立的极限压力确定主泵的类型。
一般主泵极限压力的选取要比真空室的极限压力低半个到一个数量级。
二、根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。
真空泵选型中选择主泵的时候应正确地选择主泵的工作工艺环境，在其工作压力范围内，应能排除真空室内工艺过程中产生的全部气体量。因此，真空室内的工作压力一定要在主泵的抽速压力范围之内。
三、根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选择主泵。
真空泵选型中，真空室体积大小对系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时，若真空室体积越大，则主泵抽速也越大。
四、正确地组合真空泵。
因为各种真空泵的性能不同，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。
五、若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
六、选择真空泵时，应该知道被抽气体成分，针对被抽气体成分选择相应的真空泵。如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等，或在泵的进气口管道上安装辅助设备。
七、根据整套真空系统的初次投资和日常维护费用等经济指标选择主泵。
